? 機械真空泵的分類
◇ 真空泵是用各種辦法在某一關閉空間中發(fā)生、改進和堅持真空的設備。真空泵能夠界說為:運用機械、物理、化學 或物理化學的辦法對被抽容器進行抽氣而取得真空的器材或設備。
◇ 跟著真空運用的開展,真空泵的品種已開展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百 萬升。極限壓力(極限真空)從粗真空到10-12Pa以上的超高真空規(guī)模。
因為真空運用部分所觸及的作業(yè)壓力的規(guī)模很寬,因而任何一品種型的真空泵都不也許徹底適用于一切的作業(yè)壓力 規(guī)模,只能依據(jù)不一樣的作業(yè)壓力規(guī)模和不一樣的作業(yè)請求,運用不一樣類型的真空泵。
◇ 為了運用方便和各種真空技術進程的需求,有時將各種真空泵按其功能請求組合起 來,以機組型式運用。
◇ 但凡運用機械運動(滾動或滑動)以取得真空的泵,稱為機械真空泵。機械真空泵按其作業(yè)原理及構造特色分述如下:
? 變?nèi)菡婵毡?br/>◇ 它是運用泵腔容積的周期改變來完結吸氣和排氣以到達抽氣意圖的真空泵。氣體在排出泵腔前被緊縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種。
◇ 往復式真空泵:運用泵腔內(nèi)活塞往復運動,將氣體吸入、緊縮并排出。又稱為活塞式真空泵。
◇ 旋轉式真空泵:運用泵腔內(nèi)轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、緊縮并排出。它大致有如下幾種分類:油封式真空泵 它是運用真空泵油密封泵內(nèi)各運動部件之間的空隙,削減泵內(nèi)有害空間的一種旋改變?nèi)菡婵毡?。這種泵一般帶有氣鎮(zhèn)設備。它首要包含旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。
◇ 液環(huán)真空泵 將帶有多葉片的轉子偏疼裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉時,把作業(yè)液體拋向泵殼構成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉子葉片構成了容積周期改變的幾個小的旋改變?nèi)菸艢馇?。作業(yè)液體一般為水或油,所以亦稱為水環(huán)式真空泵或油環(huán)式真空泵。
◇ 干式真空泵 它是一種泵內(nèi)不必油類(或液體)密封的變?nèi)菡婵毡?,因為干式真空泵泵腔?nèi)不需求作業(yè)液體,因而,適用于半導體職業(yè)、化學工業(yè)、制藥工業(yè)及食品職業(yè)等需求無油清洗真空環(huán)境的技術場合。
◇ 羅茨真空泵泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子。轉子間、轉子同泵殼內(nèi)壁之間均堅持必定的空隙。
◇ 動量傳輸泵:它依托高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體接連不斷地從泵的進口傳輸?shù)匠隹?。這類泵可分為以下幾種方式:
◇ 分子真空泵:它是運用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之取得定向速度,然后被緊縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為:牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而取得動量,被驅送到泵的出口。
◇ 渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和停止的定葉片相互配合來完成抽氣的。這種泵一般在分子流狀態(tài)下作業(yè)。
◇ 復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復合型的分子真空泵。
◇ 機械真空泵是真空運用領域中運用得最遍及的一類泵,它是真空取得設備的首要組成部分。其具體分類如圖1所示。
◇ 描繪機械真空泵功能的參量:對機械真空泵的功能常用下列參量或其間的幾個首要參量來闡明。
◇ 抽氣速率(體積流率)(s;單位:m3·s-1;L·s-1):當泵裝有規(guī)范實驗罩并按規(guī)則條件作業(yè)時,從實驗罩流過的氣體流量與在實驗罩上指定方位測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在必定的壓力、溫度下,真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
◇ 極限壓力(極限真空)(單位:Pa):泵裝有規(guī)范實驗罩并按規(guī)則條件作業(yè),在不引進氣體正常作業(yè)的情況下,趨向安穩(wěn)的最低壓力。即真空泵的進口端通過充沛抽氣后所能到達的最低的安穩(wěn)的壓力。
◇ 起動壓力:泵無損壞起動并有抽氣效果的壓力:前級壓力:排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。
◇ 最大前級壓力:超過了能使泵損壞的前級壓力,最大作業(yè)壓力:對應最大抽氣量的進口壓力。在此壓力下,泵能接連作業(yè)而不惡化或損壞。
◇ 抽氣量(Q單位:Pa·m3·S-1;Pa·L·S-1):流經(jīng)泵進口的氣體流量。緊縮比:泵對給定氣體的出口壓力與進口壓力之比。
◇ 其間泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實踐運用中選配真空泵的最首要的參量。
◇ 機械真空泵的標準及類型表明:法容積(變?nèi)?式機械真空泵系列的抽速分擋(抽速的單位L·S.1)如下:0·5、1、2、4、8、15、30、70、150、300、600、1200、2500、5000、10000、20000、40000。
◇ 國產(chǎn)的各種機械真空泵的類型一般是用漢語拼音字母來表明(如表1所示)。漢語拼音字母表明泵的類型;字母前的數(shù)字表明泵的級數(shù),單級時“1”省掉;字母后邊橫線后的數(shù)字表明泵的抽速(L/S)。例:2X一702——表明雙級;X——表明旋片式真空泵;70——表明抽氣速率為70L/S。
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