? 真空檢漏即是檢查真空體系的漏氣部位及其巨細的進程漏氣也叫實漏，是氣體經(jīng)過體系上的漏孔或空隙從高壓側流到低壓側的景象虛漏，是相對實漏而言的一種物理景象。

? 這種景象是因為資料放氣、解吸、凝聚氣體的再蒸騰、氣體經(jīng)過器壁的浸透及體系內死空間中氣體的流出等因素導致真空體系中氣體壓力增加的景象。

? 氣密性是表征真空體系器壁避免氣體浸透的能，它包括經(jīng)過漏孔(或空隙)的漏氣和原料的滲氣。

?  最小可檢漏率是指某種檢漏辦法能夠檢查出的漏率的最小值。

?  最好靈敏度是指檢漏儀器或檢漏辦法在最好條件下所能檢查出的最小漏率關于檢漏儀器來講，最好靈敏度又稱作儀器靈敏度。

?  檢漏靈敏度是指在詳細條件下，某種檢漏辦法所能檢查出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱作有用靈敏度。

?  反響時刻，即從檢漏辦法開端施行(如開端噴吹示漏氣體)到指示辦法(如外表)做出反響的時刻。

?  消除時刻，即從檢漏辦法中止(如中止噴吹且開端抽出示漏氣體)到指示辦法的指示不見的時刻。

?  漏率，即單位時刻內流過漏孔(包括空隙)的氣體量漏孔、漏率及其單位真空技能中所指的漏孔，因為尺度細小、形狀雜亂、形式多樣(如圖1所示)，無法用幾許尺度表明其巨細。

? 所以通常用等效流導或漏氣速率(簡稱為漏率)表明漏孔的巨細用漏率表明漏孔巨細時，假如不加特別闡明，則是指在漏孔進口壓力為1.01×105Pa，出口壓力低于1.33×103Pa，溫度為296士3K的

規(guī)范條件下，單位時刻內流過漏孔的露點溫度低于248K的空氣的氣體量。

?  漏率的單位是帕斯卡×立方米／秒，記為Pam3／s。為了便利，有時用帕斯卡×升／秒，記為PaL／s。

最大容許漏率：

?  真空體系漏氣是肯定的，不漏氣是相對的在真空檢漏技能中所指的漏是和最大容許漏率的概念聯(lián)絡在一起的。

?  關于動態(tài)真空體系，只需其平衡壓力能夠到達所請求的真空度，這時即便存在著漏孔，也能夠以為該體系的漏率是容許的，該情況下體系的漏率稱為最大容許漏率。

? 動態(tài)真空體系的最大容許漏率qLmax應滿意qLmax1/10PwS(1)式中Pw----體系工作壓力S----體系的有用抽速。

? 關于靜態(tài)真空體系，請求在必定時刻內，其壓力維持在容許的壓力以下，這時即便存在著漏孔，相同叮以以為該體系的漏率是容許的，該情況下體系的漏率稱為最大容許漏率。

? 假如請求在時刻t內,容積為V的體系的壓力由p升至pt，則其最大容許漏率qLmax應滿意qLmax(pt-p)V/t 。

漏孔的氣流特性:

?  氣體流經(jīng)漏孔的進程是很雜亂的，也許包括有粘滯流、過渡流及分子流三種活動狀況。

?  主導活動狀況與漏孔的幾許尺度、氣體的品種、漏孔兩頭的壓力及環(huán)境溫度有關設環(huán)境溫度T=296K，進口壓力p2=1.01×105Pa，出口壓力p1《p2，漏孔長L，直徑d的均勻圓截面導管型漏孔，

其對空氣的漏率及可視活動狀況。

檢漏辦法的分類:

?  檢漏辦法許多，依據(jù)被檢件所在的狀況可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。

? 充壓檢漏法：在被檢件內部充入必定壓力的示漏物質，假如被檢件上有漏孔，示漏物質便從漏孔漏出，用必定的辦法或儀器在被檢件外部檢查出從漏孔漏出的示漏物質，然后斷定漏孔的存在、方

位及漏率的巨細，此即充壓檢漏法。

?  真空檢漏法：被檢件和檢漏器的靈敏元件處于真空狀況，在被檢件的外部施加示漏物質，假如有漏孔，示漏物質就會經(jīng)過漏孔進入被檢件和靈敏元件的空間。

?  由靈敏元件檢查出示漏物質，然后能夠斷定漏孔的存在、方位利漏率的巨細，這即是真空檢漏法。

?  其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等辦法歸入其它檢漏法背壓法即是其間首要辦法之一。

?  所謂背壓檢漏法是使用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀況下使示漏氣體再從被檢件中漏出．以某種辦法(或檢漏儀)檢查漏出的示漏氣體，斷定被檢件的總漏率的辦法。