正航儀器技術(shù)整理捕集器
捕集器也稱為阱，用來(lái)捕集真空系統(tǒng)中的可凝性蒸氣。在有油封機(jī)械泵和蒸氣流泵組成的真空系統(tǒng)中，存在著工作液的蒸氣，如油蒸氣、汞蒸氣、水蒸汽等。這些蒸氣進(jìn)入被抽容器之后，使真空度降低，氧化電熱體和被處理工件，污染真空系統(tǒng)。為了減少乃至消除這些有害蒸氣，在有油蒸氣污染可能的真空系統(tǒng)中廣泛使用捕集器。捕集器的種類很多，根據(jù)捕集器捕集蒸氣的原理和方法不同，捕集器可分為擋油帽，機(jī)械捕集器(又稱擋板、障板、機(jī)械阱)，冷凝捕集器(又稱冷阱)，吸附捕集器(又稱吸附阱)和其它類型的捕集器(如電捕集器，熱捕集器，離子捕集器等。
1.擋油帽
擴(kuò)散泵在工作過(guò)程中，泵液會(huì)向被抽容器中返流。返流的油蒸氣會(huì)對(duì)被抽容器及被處理工件造成污染。返流油蒸氣從凝結(jié)于擴(kuò)散泵頂噴咀表面上的油膜的再蒸發(fā)為主要來(lái)源。在噴咀內(nèi)表面上的泵油能浸潤(rùn)外表面達(dá)數(shù)毫米，因此這部分油膜會(huì)大量蒸發(fā)，返流向高真空側(cè)。通常在泵芯的一級(jí)噴咀上面設(shè)置擋油帽，這樣可以大大降低油蒸氣的返流。擋油帽一般用水冷卻，比較好的水冷擋油帽可把擴(kuò)散泵的返油率降低到0.1％～1％。因此擋油帽是現(xiàn)代擴(kuò)散泵所必備的部件。
擴(kuò)散泵加擋油帽后，降低了返油率，但同時(shí)也降低了泵的抽速。通常認(rèn)為加擋油帽后，泵的抽速降低小于20％為宜。
先劃出導(dǎo)流管和噴咀外沿的連結(jié)線AB，再在距B為1cm左右處引垂線CD，延長(zhǎng)AB與CD交于E點(diǎn)，此即擋油帽的外緣。這樣確定擋油帽外緣的位置則不會(huì)擋住工作液蒸氣射流。
H=(d2-d1-2δ)/2 tga mm(10)
式中d1為泵的噴咀直徑，mm；d2為擋油帽帽緣外徑，mm；δ為擋油帽帽緣厚度，mm；a為泵的噴咀角度。