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渦旋式無油機(jī)械真空泵
渦旋式無油機(jī)械真空泵是從渦旋式壓縮機(jī)演化而來的一種新式的干式真空泵。
渦旋式無油機(jī)械真空泵的作業(yè)原理見圖 31 構(gòu)成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線為漸開線。
其構(gòu)造型式見圖 32 固定的渦旋體稱定子,滾動(dòng)的渦旋體稱轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)子無自轉(zhuǎn)而以必定的回轉(zhuǎn)半徑平動(dòng)公轉(zhuǎn)。
跟著轉(zhuǎn)子的平動(dòng)公轉(zhuǎn),在兩個(gè)渦旋體之間形成了吸氣腔和壓縮腔吸入氣 體后的作業(yè)腔的容積跟著轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)而減小,從外圈向基地移動(dòng)排出氣體,接連完成了吸氣、壓縮和排氣進(jìn)程。
為了減輕泵渦旋體的分量,其基材用鋁,在表面上涂鍍一層特別功能的聚四氟乙烯,以添加耐磨性和耐腐蝕性。
該泵渦旋體間相鄰作業(yè)腔的壓差小 , 故氣體走漏量小 , 泵的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)矩改變小,因而泵的噪昔低、振蕩小。
該泵特點(diǎn)是分量輕、體積小,為臥式構(gòu)造,能夠從大氣壓力下直接抽到 10-1Pa ,是一種使用范圍很寬的粗抽用干式真空泵。
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