真空在鍍膜工業(yè)中的使用

          真空鍍膜技能是真空使用技能的一個首要分支，它已廣泛地使用于光學(xué)、電子學(xué)、能源開發(fā)，理化儀器、修建機 械、包裝、民用成品、外表科學(xué)以及科學(xué)研究等領(lǐng)域中。

真空鍍膜所選用的辦法首要有蒸騰鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。此外還有化學(xué)氣相 堆積法。

           假如從真空鍍膜的意圖是為了改動物質(zhì)外表的物理、化學(xué)功能的話，這一技能又是真空外表處理技能中的首要組成部分，其分類如表 6 所示。

現(xiàn)就其幾個首要使用方面做一簡略介紹。首先在光學(xué)方面，一塊光學(xué)玻璃或石英外表上鍍一層或幾層不一樣物質(zhì)的薄膜后，即可變成高反射或無反射（即增透 膜）或許作任何預(yù)期份額的反射或透射

資料，也能夠作成對某種波長的吸收，而對另一種波長的透射的濾色片。

          高反射膜從大口徑的天文望遠(yuǎn)鏡和各種激光器開端、 一直到新式修建物的大窗鍍膜茉莉，都很需求。增透膜則很多用于照相和各種激光器開端、

一直到新式修建物的大窗鍍膜玻璃，都很需求，增透膜則很多用于照相機 和電視攝象機的鏡頭上。在電子學(xué)方面真空鍍膜更占有極為首要的位置。

各種規(guī)劃的承繼電路。包含存貯器、運算器、通知邏輯元件等都要選用導(dǎo)電膜、絕緣膜和保 護膜。作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。

磁帶、磁盤、半導(dǎo)體激光器，約瑟夫遜器材、電荷耦合器材（ CCD ）也都甬道各種薄膜在顯現(xiàn)器材方面，錄象磁頭、高密度錄象帶以及平面顯現(xiàn)裝置的通明導(dǎo)電膜、攝像管光導(dǎo)膜、顯現(xiàn)管熒光屏

的鋁襯等也都是選用真空鍍膜法制備。在元件方面，在真空中蒸騰鎳鉻，鉻或金屬陶瓷能夠制作電阻，在塑料上蒸騰鋁、一氧化硅、二氧化鈦等能夠制作電容器，蒸騰硒能夠得到靜電復(fù)印機用的

硒 鼓、蒸騰鈦酸鋇能夠制作磁致彈性的起聲元件等等。

          真空蒸騰還能夠用于制作超導(dǎo)膜和慣性束縛劇變反使用的微珠鍍層；此外還能夠?qū)χ閷?、掛鐘外殼外表、紡織?nbsp;金屬斑紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝修用薄膜，以及選用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制作超硬膜。

          近兩年內(nèi)所鼓起的多弧離子鍍制備鈦金成品，如不銹鋼薄板、鏡面 板、包柱、扶手、高級床托架、樓梯欄桿等現(xiàn)在正在盛行。

表 6 真空外表處理技能的分類